元量測儀可定義為一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸之位移量測系統（如光學尺）經數據處理器或計算機等計算出工件的各點坐標（x,y,z）及各項功能量測的儀器，三坐標測量儀是坐標測量儀中的一種。

       氣動量儀這種測量方式是利用光柵繞射所制成的量測系統俗稱光學尺，其光源經過瞄準透鏡而投射到游動刻度尺和主刻度尺，藉其光波產生Moire條紋明暗訊號之原理，由光電管接收其信號，經放大及修正后即可顯示出來，其系統及輸出信號情形。

       操作量測前準備應檢查空氣軸承壓力是否足夠，安裝工件測頭選擇及安裝，將適當之測頭裝于Z軸承接器，檢視Z軸是否會自動滑落（否則應調整紅色壓力平衡調整閥）。鎖定各軸之適當位置，量測操作應開啟處理機電源，啟開打印機開關，參考操作手冊，選擇所需功能之指令進行量測，并讀出量測值。完成后注意事項有Z軸移至原來位置后鎖定，X,Y軸各移至中央鎖定，關電源及壓力閥，取下測頭并作適當的保養。